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无尘搬运机器人

无尘搬运机器人

品牌:达谊恒(DAIHEN)

无尘搬运机器人,对于半导体晶圆搬运有技术保证的高性能及全球优秀支援能力,提供丰富的解决方案。

厂家介绍

达谊恒(DAIHEN)是一家历史悠久的日本工业集团,其核心业务涵盖电力设备、焊接系统、自动化设备以及半导体制造设备等领域。
公司创立于1919年,总部位于日本大阪。作为日本电力设备市场的领先制造商,它长期为日本全部10家电力公司提供技术与产品。

产品特点

达谊恒(DAIHEN)的无尘搬运机器人主要面向半导体和液晶面板制造等对洁净度要求极高的行业。其产品特点可概括如下:


高洁净度与低污染

采用自主的封印技术,将搬运过程中异物的产生降至最低,满足ISO 1级(Class 10)‍ 等严苛的无尘环境要求。


高可靠性与成熟技术

基于在半导体清洁搬运领域超过30年的经验,产品系列(如ACTRANS系列)具备高可靠性。部分型号(如SPR-AD008BTN/BWN)已在全球交付数千台,技术成熟稳定。


高速、高精度与低振动

通过直驱电机、优化的控制算法(如变加速控制)和高速电力线通信等技术,实现高速搬运(如450 WPH)、高精度对位,并有效抑制振动,确保搬运平稳。


灵活的配置与负载能力

产品线覆盖广泛,包括用于300mm/450mm晶圆的真空搬运机器人、用于大型玻璃面板的搬运机器人等。抓取方式支持真空吸附、边缘夹持和伯努利吸附等多种选项,以适应不同工艺需求。


易于集成与维护

采用模块化设计和标准化接口,便于集成到现有生产线。控制器支持多种工业现场总线,并配备大尺寸触摸教学面板,方便操作和编程。


节能与特殊环境适应性

部分新型号相比前代产品功耗显著降低(如降低70%),并可选配特殊涂层,以耐受湿气或特定化学液体环境。

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