安川一直追求技术与品质的革新
立于工业机器人领域前列。
1977年，安川电机在日本制造出全电动工业用机器人“MOTOMAN”(莫托曼)一号机 。之后又相继开发出焊接、装配、喷涂、搬运等多种用途的自动化作业机器人，并在国内外工业机器人市场处于前列。1977年至今，安川电机的累计出货机器人台数达500,000台以上。

安川（YASKAWA）的 SEMISTAR-MR124 是一款专为半导体晶片搬运设计的高性能机器人，属于 SEMISTAR-M 系列的升级型号。其主要产品特点如下：

高性能搬运能力

通过优化的机器人手臂轻量化与低惯性化设计，结合速度合成功能和最短轨迹生成功能，实现了搬运处理能力提升约 50%，搬运精度也提升约 50%。其高速搬运速度可达 300枚/小时。

大动作范围与高灵活性

机器人的动作区域扩大了约 30%。其工作半径达 1215mm，一台基本机器人即可适配移动多达 4套 应用设备（EFEM模块），无需额外底架，提高了布局灵活性和搬运效率。

广泛的晶片适应性

适用于 300mm 至 450mm 晶片的搬运作业。终端效应器（End Effector）支持对 300mm 晶片的边缘把持或真空吸附，以及对 450mm 晶片的真空吸附。

高洁净度与可靠性

设计用于洁净等级为 ISO 1 的无尘环境，满足半导体制造对洁净度的严苛要求。机器人具有高可靠性，平均无故障循环次数（MCBF）可达 1500万次 以上。

易于集成与维护

配备 SR100 或 FS100 等型号的控制柜。其设计注重易用性，支持人性化的示教编程，并具备自我诊断和监控功能，便于设置和维护。

综上所述，SEMISTAR-MR124 凭借其高速、高精度、大范围、高洁净度以及出色的可靠性和灵活性，成为半导体前端制造（EFEM）中晶片搬运环节的优选解决方案。