
昕芙旎雅的无尘搬送机器凭借尺寸兼容、氮气吹净、模块化设计以及高可靠性等多重优势,能够帮助半导体及相关高端制造企业实现更高的产能、洁净度和成本效益。
SINFONIA(昕芙旎雅株式会社)成立于1917年,以电磁控制技术为核心,提供半导体搬送装置、宇宙火箭电气部件、汽车实验装置测试系统、振动输送设备、小型马达、电磁离合器/制动器、打印机系统等各领域产品。基于其自己独特的传动控制和能源控制技术,在各种领域提供相对应的产品。
昕芙旎雅(SINFONIA)无尘搬送机器的核心优势
尺寸兼容、自动切换
设备支持 300 mm 和 200 mm 晶圆的自动切换,能够在同一生产线实现大/小晶圆混产,提升产线灵活性。
氮气吹净、极低颗粒污染
采用 N₂ 吹净技术,对 FOUP Load Port 进行氮气净化,显著降低尘粒进入晶圆,保持洁净室环境。
高信息吞吐率、提升生产效率
采用高通量、空间紧凑的结构设计,信息吞吐率大幅提升,帮助工厂缩短生产周期、提高良率。
模块化、功能可选
可选配基板翻转机构、负离子发生器、真空吸附、EFEM 内照明等多种附件,满足不同工艺需求。

MOTOMAN-SOC系列,是专为高速作业而打造的SCARA机器人。适用于小型部品的组装,搬运,装箱,分拣,检查等各种场景。

MOTOMAN-MPX系列机器人为喷涂机器人。从小型产品,诸如手机、手办等的喷涂到汽车车身喷涂,产品线可满足多种生产需求。

MOTOMAN-MPL系列为码垛搬运机器人。可搬运重量范围为80~800kg,并适配多种工件。以食品搬运作业为首,为多样化的物流行业提供帮助。

MOTOMAN-GP系列的小机型拥有高水平的动作速度及轨迹精度,进一步提高了现场的生产水平。 同时,安川提供适用于食品领域及耐环境等级的可选配置,中大机型可搬运重量范围为20~600kg,最大臂展范围为2061mm~3515mm。其丰富的产品线,能够为客户的需求匹配到合适的机型。。

安川 SEMISTAR-MR124 半导体晶片搬运用机器人适用于晶圆搬运SEMISTAR-M系列升级版,引领业界的高性能!供应EFEM模块全套设备。300枚/小时的高速搬运。

【高速开始作动】【高速持续运行】【精准停止作动】,应用于从传统的部件装配至食品・药品・化妆品等的包装工程

外形紧凑、小巧,高速与高搬运性能兼备。