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无尘搬送机器

无尘搬送机器

品牌:昕芙旎雅(SINFONIA)

昕芙旎雅的无尘搬送机器凭借尺寸兼容、氮气吹净、模块化设计以及高可靠性等多重优势,能够帮助半导体及相关高端制造企业实现更高的产能、洁净度和成本效益。

厂家介绍

SINFONIA(昕芙旎雅株式会社)成立于1917年,以电磁控制技术为核心,提供半导体搬送装置、宇宙火箭电气部件、汽车实验装置测试系统、振动输送设备、小型马达、电磁离合器/制动器、打印机系统等各领域产品。基于其自己独特的传动控制和能源控制技术,在各种领域提供相对应的产品。

产品特点

昕芙旎雅(SINFONIA)无尘搬送机器的核心优势

 

尺寸兼容、自动切换

设备支持 300 mm 和 200 mm 晶圆的自动切换,能够在同一生产线实现大/小晶圆混产,提升产线灵活性。


氮气吹净、极低颗粒污染

采用 N₂ 吹净技术,对 FOUP Load Port 进行氮气净化,显著降低尘粒进入晶圆,保持洁净室环境。


高信息吞吐率、提升生产效率

采用高通量、空间紧凑的结构设计,信息吞吐率大幅提升,帮助工厂缩短生产周期、提高良率。


模块化、功能可选

可选配基板翻转机构、负离子发生器、真空吸附、EFEM 内照明等多种附件,满足不同工艺需求。

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