概述

可以直接驱动负载的电机，直驱伺服电机的特殊构造使其在轴向能够承受很大的负载且转子的惯量很大，能够与大惯量负载进行匹配。

特点

低转速，大转矩；直接驱动负载进行圆周运动，无机械齿轮部分，提高精度，减少机械传动误差。

应用案例

光伏硅片AOI检测

描述

该系统可对太阳能硅片的电性能、几何尺寸、外观缺陷进行全自动分拣，硅片生产企业应用此系统，替代以往人工检测方式，大大提高了检测效率，充分满足了硅片使用厂家的质量要求，同时降低了该企业和下游企业的整体质控成本，提高了客户在行业的竞争力。

基本原理

系统整体采用非接触测量方式，通过在流水线中设置五个工位，分别实现硅片各个参数的检测。其中，电阻率、厚度、TTV、P/N型号、Bow/Warp采用电涡流法和电容法实现非接触自动检测；轮廓尺寸采用机器视觉技术实现；隐裂、孔洞缺陷通过红外视觉技术实现；表面脏污缺陷通过机器视觉技术并辅以特殊设计光源实现；线痕缺陷通过光针扫描技术实现。

规格指标

（1）能够适应三种规格单晶硅片检测需求，包括以下这些：

6吋（边长125mm×125mm，对角线150mm）

6.5吋（边长125mm×125mm，对角线165mm）

8吋（边长156mm×156mm，对角线200mm）

（2）能够检测硅片各种缺陷，包括电阻率、厚度、TTV、P/N、线痕、几何尺寸、脏污、孔洞、隐裂、BOW/WARP；

（3）检测效率:3000片/小时；

（4）进料机构采用物料篮（花篮）自动进料，物料篮必须与设备配套使用，人工将物料篮安装到设备进料口，安装过程应简单快捷；

（5）合格标准可设定，以适应区分不同的质量级别；

（6）具备硅片分选功能。一个分选模块有6个分选工位，各工位的分选标准可以自定义，既可以将每个分选工位设置成一种缺陷的几个等级（等级划分由客户自定义，但不可超过6级），也可以将每个分选工位设置成几种不同的缺陷（最多设置6种缺陷）。客户可设置缺陷种类的优先级，若硅片上具有两种或多种缺陷时按照客户定义的优先级进行分选；如果认为6个分选工位不能满足使用要求，则可以购买多台分选模块；

（7）上、下料及检测过程中防止硅片碰伤与损坏，碎片率要求

（8）设备具备安全防护功能，实现自动保护。配备急停装置，发生紧急情况时可立即停止设备，防止意外伤害；

（9）采用模块化设计，便于维护和维修。