目前各行各业的工厂里一定少不了测量设备，特别是半导体晶圆和微电子制造，这是个要求很高、几乎不容出错的工艺过程。该行业高度依赖于高性能监测仪器，以准确测量化学品成分和环境条件。

 今天要介绍的来自维萨拉的产品，提供能够优化流程以降低能耗，提高资源效率和质量，并减少浪费的测量仪器和解决方案。为不同行业的客户在业务关键领域进行可靠的测量。

Indigo 解决方案

基于科学、经现场验证的技术，适用于苛刻的测量应用

更好的组合 - 模块化Indigo平台

▪ 灵活、可互换

 ▪ 可扩展性

▪ 可经受长期考验

Indigo 湿度、露点、油中水探头的统一特征

可与Indigo主机设备连接，或通过Modbus RTU独立使用

基于电容薄膜聚合物的HUMICAP®湿度传感器

 ▪   化学清除及传感器加热功能                 ▪ 高精度和稳定性 （精度高达±0.8%RH）

        ▪ 快速响应时间   （T63响应时间为15秒）       ▪ 化学物质高耐受性

         ▪ 防冷凝      ▪ 低滞后      ▪ 厂家质量把控

Indigo HMP 温湿度探头

         ▪ 高精度（±0.8%@23 ℃）和长期稳定性           ▪ 可从冷凝中更快恢复

         ▪ 对灰尘和大多数化学品不敏感

基于电容薄膜聚合物的DRYCAP®露点传感器

▪高化学物耐受性        ▪ 防冷凝        ▪ 化学清除及传感器加热功能

 ▪ 快速响应时间63 %    (从干到湿5s (15 s)  从湿到干45 s (8 min))

▪ 高精度和稳定性(精度高达+2ºC (+3.6ºF) Td/f)

▪ 厂家质量把控

Indigo DMP 露点及温度探头

高精度和稳定性

▪ 不同型号应对不同温度

数据处理单元Indigo500系列

实现Indigo产品的扩展功能和可用性

①Indigo510 数据处理单元

△简易化，单探头连接

△触摸显示屏，或带LED指示灯的非显示版本

△2路模拟输出

数字输出: RS-485 Modbus TCP/IP

△24 VDC/VAC 供电

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②Indigo520 数据处理单元

△综合化，双探头连接

△触摸显示屏，或带LED指示灯的非显示版本

△数字输出: RS-485 Modbus TCP/IP

4路模拟输出, 2个继电器

保护性超低电压(PELV)

15…35 V DC, 24 V AC/AC

(mains)/以太网供电(PoE)

Indigo300 数据处理单元

用于维萨拉 Indigo 兼容探头的坚固又小巧的主机设备

灵活选择使用电缆或直接与探头进行连接

Indigo300 模拟输出数据处理单元

可搭配一款探头

△彩色LCD显示屏

  ----带指示灯用于通知或带LED指示灯的非显示屏版本

△3个预先配置的模拟输出（也可轻松的重新配置）

△24 VDC/VAC 供电

△通过变送器主体和DIN导轨安装

（可选安装背板，用于替换HMT330、DMT340和MMT330系列变送器）

01   晶圆切割和探测

• 晶圆切割用于将芯片从晶圆分离       • 通过测量露点温度防止支撑带剥落时发生冷凝

• 通过探针进行芯片测试                        • 将晶圆/芯片暴露在不同（极端）温度下以检查 IC 性能

• 为防止试验箱内发生冷凝，必须监测和控制露点

   • 维萨拉提供多种型号并适用于OEM 集成的露点变送器，例如：

 DMP7适用于较大的测量范围：-70 ...+80 °C 霜/露点

 DMT152适用于超干燥条件： -80 ...-20 °C 霜点

02 晶圆光刻机、涂胶显影机

INDIGO520数据处理单元

硅晶圆有光刻胶涂层

          • 通过掩模暴露在光线下

          • 保留希望显示在晶圆表面的图形

          • 显影掩模和蚀刻硅...

          • 线宽很窄 很难调整镜头来保持对焦

          • 需要测量实时压力、 湿度和温度来调整镜头